金融界2025年1月28日消息，国家知识产权局信息显示，珠海市龙图光罩科技有限公司申请一项名为“掩模版的光刻方法、装置、设备及存储介质”的专利，公开号 CN 119356023 A，申请日期为 2024 年10 月。

　　专利摘要显示，本申请公开了一种掩模版的光刻方法、装置、设备及存储介质，涉及掩模版制造技术领域，公开了掩模版的光刻方法，包括：获取掩模版的曝光图形；将所述曝光图形输入至位置偏差修正模型星空体育APP，，获得所述掩模版经所述位置偏差模型修正后的位置修正数据，所述位置偏差修正模型是基于负载率修正系数与位置修正系数修正的热扩散算法搭建的；基于所述位置修正数据修正光刻所述掩模版的光刻机的初始运动数据，获所述光刻机的修正运动数据，并基于所述修正运动数据控制所述光刻机光刻所述掩模版。也即，利用位置偏差修正模型精准的输出掩模版上各图形区域的位置修正数据，以通过位置修正数据提高修正掩模板位置精度偏差的效果。

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　　天眼查资料显示，珠海市龙图光罩科技有限公司，成立于2022年，位于珠海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20000万人民币星空体育APP，，实缴资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海市龙图光罩科技有限公司参与招投标项目12次，专利信息8条，此外企业还拥有行政许可37个。